一种CMOS多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型

来源 :2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chinajswgh

【摘要】

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本文提出了一种基于CMOS工艺多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而本模型引入RL枝节和互感来表征层间金

【作者】

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闫金星孙玲玲文进才胡江

【机构】

：

杭州电子科技大学微电子CAD研究所

【出处】

：

2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型趋肤效应耦合效应邻近效应工艺制造仿真结果层间测量结果表征一致性变参量验证衬底并联

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本文提出了一种基于CMOS工艺多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而本模型引入RL枝节和互感来表征层间金属趋肤效应和邻近效应,用并联RC枝节来表征同层金属和不同层间金属在衬底的耦合效应.此模型以0.35μm2P4M硅工艺制造的电感验证,测量结果与模型仿真结果在宽频带均具有良好的一致性.

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