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该文详细介绍了SIMOX、BESOI和Unibond等SOI技术的现状，并对SOI的优势和应用作了阐述。
SOI技术的现状、优势和应用
【摘 要】
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该文详细介绍了SIMOX、BESOI和Unibond等SOI技术的现状，并对SOI的优势和应用作了阐述。
【机 构】
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电子部24部(重庆)
【出 处】
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第六届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会
【发表日期】
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1999年期
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