【摘 要】
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二硼化镁(MgB2)是迄今发现的临界温度最高的简单、最稳定的金属化合物超导材料,相比其他高温氧化物超导体,MgB2具有结构简单、晶界弱连接效应轻微、相干距离较长等优点,
【机 构】
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贵州大学,电子科学系,贵阳550025
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二硼化镁(MgB2)是迄今发现的临界温度最高的简单、最稳定的金属化合物超导材料,相比其他高温氧化物超导体,MgB2具有结构简单、晶界弱连接效应轻微、相干距离较长等优点,因此在超导电子领域有广阔的应用前景.高质量薄膜和约瑟夫森结的制备是实现MgB2在弱电领域应用的关键.本文介绍了近年来我们实验室在基于超导材料MgB2薄膜的制备工艺及其约瑟夫森结的制备取得的进展.主要包括：1)制备二硼化镁超导薄膜的实验研究,主要包括磁控溅射原位和异位退火技术、双温区和单温区混合物理化学气相沉积法(HPCVD)技术以及多层膜的制备技术.2)提出了两种简便易行MgB2的湿法布图布线技术.一种是经硼先驱薄膜实现二硼化镁超导薄膜布图布线的方法,另一种是直接在二硼化镁超导薄膜上布图布线的方法.3)采用HPCVD工艺和用B膜作为势垒介质层制备了MgB2/B/MgB2约瑟夫森结.
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