【摘 要】
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采用气体氮化和磁控溅射复合技术在Ti6Al4V表面制备了氮化层/DLC复合涂层.气体氮化在钛合金表面形成厚度约为35μm的氮化物层,DLC膜层中Cr/WC过渡层结构为致密的柱状晶,厚度为860nm,与基体结合良好,非晶碳膜厚度为1.16μm,表面光滑.利用纳米压入仪测试对比复合涂层与未氮化处理DLC涂层的纳米硬度和纳米划痕,复合工艺的硬度曲线峰变宽,并有较高的承载力.
【机 构】
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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室、浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波,315201
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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采用气体氮化和磁控溅射复合技术在Ti6Al4V表面制备了氮化层/DLC复合涂层.气体氮化在钛合金表面形成厚度约为35μm的氮化物层,DLC膜层中Cr/WC过渡层结构为致密的柱状晶,厚度为860nm,与基体结合良好,非晶碳膜厚度为1.16μm,表面光滑.利用纳米压入仪测试对比复合涂层与未氮化处理DLC涂层的纳米硬度和纳米划痕,复合工艺的硬度曲线峰变宽,并有较高的承载力.
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