论文部分内容阅读
随着微纳研究技术的不断深入，微电子机械系统(MEMS)也越来越趋于实用化。硅各向异性腐蚀，作为MEMS领域三维加工工艺，对其腐蚀机理和计算机模拟等方面的研究成为了微纳领域研究热点之一。利用Mathematica软件计算能力强、图形显示方便、直观，对系统环境要求较宽松等优点，在此环境下，对硅在KOH中各向异性腐蚀进行了模拟。模拟结果表明，各向异性腐蚀工艺的计算机模拟在Mathematica环境下是可行的。