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本文采用射频磁控溅射法在Pt/Al2O3衬底上制备了2mol％Mn2+掺杂的Br0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。分析了衬底表面沉积粒子的能量状态，对溅射工艺如基片温度、溅射功率、总气压等进行优化，获得了调谐率50％～80％、损耗0.6％～1％的BST薄膜。
Pt/Al2O3衬底上低损耗Mn2+掺杂BST薄膜制备
【摘 要】
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本文采用射频磁控溅射法在Pt/Al2O3衬底上制备了2mol％Mn2+掺杂的Br0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。分析了衬底表面沉积粒子的能量状态，对溅射工艺如基片温度、溅射功率、总气压等进行
【机 构】
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电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054
【出 处】
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第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
【发表日期】
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2008年期
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