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本文主要研究一种太赫兹行波管用金刚石输能窗的金属化方法,基于金刚石表面特性与太赫兹行波管服役需求,对金属化区域进行结构设计.利用PVD设备研制了金刚石金属化结构,并通过合理设计封接工艺,研制出满足太赫兹行波管用金属化金刚石输能窗.
太赫兹行波管用金刚石输能窗金属化研究
【摘 要】
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本文主要研究一种太赫兹行波管用金刚石输能窗的金属化方法,基于金刚石表面特性与太赫兹行波管服役需求,对金属化区域进行结构设计.利用PVD设备研制了金刚石金属化结构,并通
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,北京,100190
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会
【发表日期】
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2016年期
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