【摘 要】
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MoS2由于层间易滑移、真空摩擦系数低,成为空间机构应用最广泛的润滑材料之一.采用闭合场非平衡磁控溅射技术制备了MoS2/Ti复合薄膜,采用划痕仪、球坑仪、摩擦磨损机等设备对
【机 构】
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上海卫星装备研究所上海市闵行区华宁路251号200240
【出 处】
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2017航天先进制造技术国际研讨会
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MoS2由于层间易滑移、真空摩擦系数低,成为空间机构应用最广泛的润滑材料之一.采用闭合场非平衡磁控溅射技术制备了MoS2/Ti复合薄膜,采用划痕仪、球坑仪、摩擦磨损机等设备对其力学性能进行研究.结果表明,多层梯度过渡的结构设计使得MoS2/Ti复合薄膜的基本力学性能表现优异.在研究范围内,随着Ti含量的增高,MoS2/Ti复合薄膜不仅寿命显著增长,而且摩擦系数降低.Ti靶电流为0.5A时,摩擦系数0.04,摩擦寿命达4.0×105r,比DLC膜更耐磨且运行更平稳,满足空间精密部件的固体润滑需求.
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