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本文主要对大面积非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池的第二道和第三道激光切割进行了研究。针对微晶硅薄膜厚度增加、硅材料也更为致密，从而使得其对激光设备及工艺提出了更高的要求。通过我们对激光切割中的电流、频率以及电池有无背反射ZnO的研究，对非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池的切割工艺有了一定的深入认识。为获得高效率大面积的非晶硅/微晶硅叠层电池的激光切割工艺提供了很好的数据基础。