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本文讨论了制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜时掺镓过程中遇到的困难,探讨了其制备工艺,证明提高硒化时的衬底温度是掺镓的关键,而进行二次硒化可使掺镓更为有效.
制备CIGS薄膜过程中掺镓的若干问题
【摘 要】
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本文讨论了制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜时掺镓过程中遇到的困难,探讨了其制备工艺,证明提高硒化时的衬底温度是掺镓的关键,而进行二次硒化可使掺镓更为有效.
【机 构】
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南开大学光电子研究所
【出 处】
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中国太阳能学会2001年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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