【摘 要】
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磁过滤阴极真空弧沉积技术(FCVAD)是利用磁场对等离子体的约束和导向作用,使等离子体通过一个弯曲的管道来消除大颗粒污染的。所以,磁场的分布对于FCVAD是一个需要解决的关键
【机 构】
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北京航空航天大学机械工程与自动化学院材料加工与控制系;
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磁过滤阴极真空弧沉积技术(FCVAD)是利用磁场对等离子体的约束和导向作用,使等离子体通过一个弯曲的管道来消除大颗粒污染的。所以,磁场的分布对于FCVAD是一个需要解决的关键问题。本设计从矩形弯曲次过滤的具体模型出发,应用ansys9.0的电磁场分析软件,对矩形弯曲磁过滤器的三维磁场进行计算和分析,得到了三维空间磁场矢量图,还得到了过滤线圈数量、加载电流大小与线圈位置对过滤磁场的影响。最后,将计算机过于实测结果进行对比,发现结果基本吻合。通过ANSYS仿真分析,为矩形磁过滤装置的设计提供了比较准确的数据资料。进而使得产品的设计、开发建立在较为科学的基础上,为产品实际研制提供理论依据。
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