【摘 要】
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采用脉冲磁控溅射方法,开展了在空心微珠表面镀二氧化钛薄膜的研究。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、光电子能谱仪(XPS)和X射线衍射仪(XRD)等测试仪器对其表面形貌、膜厚
【机 构】
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北京航空航天大学 粉体技术北京市重点实验室,北京 100083
【出 处】
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第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会
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采用脉冲磁控溅射方法,开展了在空心微珠表面镀二氧化钛薄膜的研究。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、光电子能谱仪(XPS)和X射线衍射仪(XRD)等测试仪器对其表面形貌、膜厚、组分及结构进行了测量与分析。实验与结果分析表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用脉冲磁控溅射镀二氧化钛薄膜,可以在空心微珠表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的薄膜。XRD结果表明:空心微珠表明所镀二氧化钛膜未形成结晶,为无定形态。
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