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微机电(MEMS)传感器是近年来发展迅速的一项先进技术,MEMS传感器由于几何尺寸小、重量轻,方便嵌入到结构内部,在发动机健康监测领域备受关注.主要介绍MEMS传感器在航空发动机健康监测领域的应用、适用于MEMS传感器的材料以及国外用于发动机健康监测的微型嵌入式高温探头的发展等内容.
微机电传感器及嵌入式仪器在国外航空发动机健康监测中的应用
【摘 要】
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微机电(MEMS)传感器是近年来发展迅速的一项先进技术,MEMS传感器由于几何尺寸小、重量轻,方便嵌入到结构内部,在发动机健康监测领域备受关注.主要介绍MEMS传感器在航空发动机
【机 构】
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中国航空工业发展研究中心,北京100012
【出 处】
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2013航空试验测试技术学术交流会
【发表日期】
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2013年10期
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