【摘 要】
：
本文基于MEMS技术设计了一种单片集成三轴加速度,压力和温度传感器.对各个传感部件的结构进行了理论分析和有限元仿真,并结合工艺要求优化了结构参数,同时对各测量参数的影响因素进行分析和仿真.集成传感器采用SOI硅片材料,应用体硅工艺和阳极键合工艺制造.单片传感器的面积为4×6mm.
【机 构】
：
机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学精密工程研究所,西安,710049
【出 处】
：
第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文基于MEMS技术设计了一种单片集成三轴加速度,压力和温度传感器.对各个传感部件的结构进行了理论分析和有限元仿真,并结合工艺要求优化了结构参数,同时对各测量参数的影响因素进行分析和仿真.集成传感器采用SOI硅片材料,应用体硅工艺和阳极键合工艺制造.单片传感器的面积为4×6mm.
其他文献
指出研究渗风模型的重要性,介绍了国外的渗风气流模型体系及发展研究近况,对渗风模型进行分类并作出比较.指出其所存在问题并简要介绍了典型多区渗风气流模型COMIS的基本情况,最后就国内未来的研究做出展望,认为应借鉴国外的经验,尽快建立并完善适合我国国情的多区动态渗风网络模型并展开研究.
分析了目前建筑墙体传热系数现场检测方法中存在的问题,指出节能建筑验收时,仅仅依据测试的一个建筑单元的墙体传热系数值,来判断一幛楼甚至一个小区的建筑墙体是否满足节能要求,其科学性令人怀疑.介绍了能迅速和全面地诊断建筑小区内所有建筑墙体热工缺陷的红外热像技术,以及运用红外热像技术进行定量化测试研究课程的主要研究内容.
天津地处寒冷地区,冬冷夏热,居住建筑能耗中冬季采暖能耗占很大比重.建筑中的外窗,在冬季是热损失的主要部位,同时,天津冬季有丰富的日照资源,适当增大南向外窗尺寸,可以提高房间得热量,降低采暖能耗.本文利用已有的一些研究、观测成果和经验公式,对影响外窗冬季节能的因素进行了分析,提出合理建议,并根据天津地区的日照资源,针对不同的外窗尺寸和气密性,通过计算,分析房间净得热情况,得出:在外窗传热系数较低,气
本文介绍了上海市住宅建筑节能检测的方法及评估节能达标的思路.主张采用对各围护传热系数的检测,以及通过对窗的太阳辐射计算(不采用测量),最后计算理论上可比较的耗热量耗冷量.研究"比较法"判定住宅建筑节能是否达到《夏热冬冷地区居住建筑节能设计标准》要求.本文同时分析各种测量的构件传热系数方法,研究夏季内表面最高温度的测量与判定规则.
本文用双正态截尾简化模型对全年干球温度和湿度进行了简化模拟,并利用温频法将建筑负荷简化为干球温度与湿度的函数,进而构建了建筑负荷的分布函数.负荷分布函数反映了设计中不保证率的观点,可以来选择设备与运行管理.
对于压力传感器的温度特性在测量范围较宽时,传感器的输出受温度的影响为非线性的问题进行分析后,提出了应用支持向量机建立校正模型对压力传感器进行非线性补偿的校正方法.校正方法利用支持向量机具有逼近任意非线性函数的特点,通过训练使校正模型建立在不同环境下传感器输出与其实际电压值之间的非线性映射关系,实现压力传感器非线性补偿校正.实验结果表明,该方法不仅能有效地消除温度和电压波动的影响,而且能在校正模型的
本文重点介绍了电阻应变片、差动式应变传感器及光纤(F-P)应变传感器的工作原理,并结合工程实例对电阻应变测试技术及光纤应变测试技术进行了分析研究.
本文从硅压阻式压力传感器的失效模式入手,借鉴集成电路中成熟的可靠性理论,探讨了硅压阻式压力传感器芯片的稳定性与材料、表面电荷及金属化等的关系;通过对衬底材料的选择、优化的版图设计和工艺设计、严格的过程管理,研制出了高可靠、高稳定的压力传感器芯片.经过对组装成的传感器的性能测试、环境试验、稳定性试验进行了验证,产品满足了日益提高的用户的需求.
本文给出了TPMS用压力传感器的设计方法,并根据这一设计研制了一种轮胎压力传感器芯片,经过理论计算,根据它的低功耗要求,并兼顾需要它启动快、预热时间短的原则对芯片中的转换元件,采用微型化设计,并将目前国际上最新的硅-硅真空键合技术和基于MEMS技术的硅体微机械加工制造技用于芯片的制作工艺中、大大地缩小了单元尺寸,有效的降低了成本;已研制成功的用这一芯片制造的压力传感器性能已达到了实用化要求,为我国
本文针对化学爆炸冲击过程、侵彻武器参数测试、武器研制过程中的冲击过载等恶劣力学环境测试中对传感器的量程和频响的要求,从压电式加速度传感器的工作原理入手,从压电材料、结构形式和装配工艺等三个方面对基于PVDF、压电陶瓷和压电石英等三种敏感元件的压电式高g值冲击加速度传感器进行了较深入研究.在实验室严格标定后,研制的传感器多次应用于工程现场参数测试,取得满意的数据.同时,本文还分析了传感器频响和动态范