【摘 要】
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传统的纵向磁记录硬盘面密度已经达到超顺磁效应所允许的极限值，垂直磁记录模式有望进一步提高磁盘存储密度。目前用于商业磁盘的垂直磁记录材料主要为CoCrPt基合金薄膜以及L10相FePt颗粒膜。前者较小的垂直磁各向异性使其存储密度超过500或600 Gbits/in2时，受到热扰动的影响较大；后者在制备过程中需要经过高温处理工艺，同时由于高矫顽力带来的写入困难都使得硬盘存储成本提高。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京100083
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传统的纵向磁记录硬盘面密度已经达到超顺磁效应所允许的极限值，垂直磁记录模式有望进一步提高磁盘存储密度。目前用于商业磁盘的垂直磁记录材料主要为CoCrPt基合金薄膜以及L10相FePt颗粒膜。前者较小的垂直磁各向异性使其存储密度超过500或600 Gbits/in2时，受到热扰动的影响较大；后者在制备过程中需要经过高温处理工艺，同时由于高矫顽力带来的写入困难都使得硬盘存储成本提高。
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