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该文研究了制备细晶粒超薄金刚石膜的工艺条件、原型Ｘ射线窗口的制备以及金刚石薄膜的Ｘ射线透过率。
金刚石薄膜X射线窗口的研究
【摘 要】
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该文研究了制备细晶粒超薄金刚石膜的工艺条件、原型Ｘ射线窗口的制备以及金刚石薄膜的Ｘ射线透过率。
【机 构】
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联合大学无机材料系(成都)
【出 处】
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'96中国材料研讨会
【发表日期】
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1996年期
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