金刚石膜相关论文
金刚石具有优异的光学、力学、热学、电学性能,是一种典型的多功能材料,在航空航天、能源、精密加工等高新技术领域有着极佳的应用......
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采用3 kW/2 450 MHz微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以高纯氢气、高纯甲烷为反应气体,单晶硅为衬底,制备了微米级金刚石薄膜......
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采用3 kW/2450 MHz微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposi-tion,MPCVD)系统,以单晶硅为基底材料,采用......
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以直流等离子射流ＣＶＤ法研究了表面预处理工艺和沉积工艺对ＭＣ／Ｃｏ基体上金刚石膜形核行为的影响，结果表明：用金刚石微粉研磨过的基体表面形核密......
在P-Si(100)基片上沉积的热丝CVD金刚石膜具有很好的晶形,颗粒以立方八面体为主,还有少量的孪晶正二十面体和孪晶正十面体颗粒,颗......
针对新型超硬材料金刚石膜的应用问题,在真空加热条件下对其与活性钎料(Ag-Cu-Ti)的润湿状态进行了试验研究.试验采用φ10×δ金刚......
本文描述了金刚石膜的优异特性、研究现状与应用背景,实验探索了在低温条件下,用永冲激光在光学元件表面上制备金刚石膜的可行性,......
该文利用韧性材料三点弯曲简支梁受力时的应力分布特点，研究了一种新的小尺寸脆性ＣＶＤ金刚石膜断裂韧性单边预裂纹制备方法，成功地防止了......
制作高性能的热沉是金刚石膜应用的一个重要的方面。该文利用光热偏转法，测试了一系列金刚石膜样品的热导率，结合拉曼光谱，Ｘ射线衍射等......
在刀刃上直接沉积纳米级的金刚石薄膜，使刀刃受到保护、不受腐蚀，剃须时不易刮伤脸面。采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)......
为了研究膜/基界面形貌对金刚石膜内残余热应力的影响,建立了3种典型形状的界面形貌并用有限元方法进行了数值模拟,基于模拟结果分......
本文使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置，以H_2-CH_4为气源，就高功率条件下CH_4浓度对金刚石膜的生长速率和品质的影响规律进行了......
以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析，然后对经典的流体动力学方程组加以修正，引入......
本文提出了使用电蚀加工CVD金刚石膜新方法,该方法利用加工产生的热能及表面涂覆金属的热扩散作用对金刚石进行局部碳固溶融蚀,实......
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌、膜品质的影响.......
采用大功率高重复频率准分子激光在氢气氛中溅射热解石墨靶制备了含氢类金刚石膜,研究了含氢类金刚石膜的结构及场发射性能。发现......
硬质合金粘结相钴具有严重抑制金刚石形核及促进石墨生长的作用，在硬质合金基底进行金刚石涂层前，对表面粘结相钴的预处理是必不可少......
金刚石作为碳(C)的重要同位素之一,具有良好的物化性能而被广泛应用于各领域,我们利用D/max(3C)型X-射线衍射仪对金刚石膜样品分别......
本论文报道了采用掺硼金刚石膜电极结合循环伏安法、微分脉冲伏安法、计时库仑法的电化学技术实现了对多巴胺及抗坏血酸的直接电化......
通过热丝化学汽相沉积(CVD)技术工艺在Si(100)基底上制备的金刚石膜,使用美国ORTEC公司制造的正电子湮没寿命谱仪进行了测量分析,......
北京晶锐创业超硬材料有限公司是以生产耐磨器件和超硬材料刀具为主的专业化高新技术企业。本公司技术力量雄厚,拥有国内一流的超......
采用Ｎｄ：ＹＡＧ激光器对金刚石膜进行切割，研究了激光器在不同输出功率下切割金刚石膜的速率和切割深度与时间的关系，以及Ｎｄ：ＹＡＧ激光器切割的金刚石膜......
前言通过气相法在基板上生长的金刚石膜,如果基板为金刚石单晶,并且是在一定条件下外延生长起来的,可以观察到(111)、(110)、(100......
引言合成金刚石膜有许多种工艺,如碳靶的离子束喷溅法,烃类用氢稀释的射频或微波等离子体CVD法以及烃类的热钨丝CVD法。世界上正......
金刚石因其独有的光学、物理和电子学综合性能日益引起人们的重视。它很有希望用于制作红外透波膜层、耐磨涂层、高温半导体元件......
(类)金刚石薄膜是最近世界上出现的一种新型材料,它具有优异的机械特性、电气特性、光学特性和化学惰性,已引起许多科学家和各国政......
本文综述了近几年C_(60)研究在制备、结构和化学修饰等方面的主要进展。对国内开展C_(60)研究提出了四条意见。
This review summ......
金刚石薄膜的研究进展很快,利用富乙炔的氧(O_2)-乙炔(C_2H_2)火焰在大气中沉积金刚石是一种简单的快速沉积金刚石的方法。 在用O......
概述了第9届国际等离子体化学会议的论文和活动情况,对这个领域的发展提出了一些看法。
Summarizes the papers and activities o......
用热灯丝铺助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H_2十CH_4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧......
从加快热传导及其减小光能吸收两个方面入手，讨论了通过增镀介质膜提高铝镜和硅窗口的激光对抗能力的具体措施及其可行性。在１．０６μｍ红外......
掺硼金刚石薄膜电极（BDD）电极具有良好的导电性、极宽的电化学窗口、非常低的背景电流、极高的物理和化学稳定性及抗腐蚀性能等特性......
研究了在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)条件下纯度为99.5%的C_(60)对金刚石在单晶硅衬底上形核的影响。发现预先涂覆在硅衬底上......
本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。
In this pa......
国家“863”科技攻关项目—准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备，1月23日在牡丹江市通过国家科委论证。由牡丹江光电技术研究所提出的......
本文从理论上首次计算了含卤素体系中生长金刚石薄膜的三元相图，研究了碳－氢－氟（C－H－F）体系中金刚石生长区随衬底温度及氟含量的变化趋势．......
利用PCVD方法，对在AlN基板上合成金刚石薄膜进行实验研究，并就提高金刚石薄膜热导率及增强其与基底的粘附力等问题进行分析和讨论。
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本文研究了局部定向异质外延生长的金刚石膜的压阻效应，实验研究表明，这种膜的压阻因子在200微应变，室温下约为1300．其值大大超过了单......
用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。
High-purity diamond films were deposited on Si sub......
采用具有高导热、高绝缘等优异物理性能的金刚石膜作为绝缘理层，利用金刚石膜上的薄层硅（SOD）技术，制作了54HCTO3CMOS／SOD结构的集成电......
利用光发射谱对电子增强热丝CVD金刚石薄膜的生长过程进行了原位检测,并实现空间分辨测量,系统地研究了衬底偏压、甲烷浓度、衬底......
本文用氢气、丙酮作为气体源，用微波等离子体化学气相沉积方法，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上进行了金刚石薄膜异质外延生长的研究。......
