论文部分内容阅读
研究了RTCVD 设备参数如：温度、反应气体流量、沉积时间对多晶硅薄膜的性能的影响，通过扫描电镜（SEM）、X 射线（XRD）、霍尔测试及电池模拟软件PC1D 描述了薄膜性质随各参数的变化规律性，提出改进薄膜性能的思路。
RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究
【摘 要】
：
研究了RTCVD 设备参数如：温度、反应气体流量、沉积时间对多晶硅薄膜的性能的影响，通过扫描电镜（SEM）、X 射线（XRD）、霍尔测试及电池模拟软件PC1D 描述了薄膜性质随各参数的变化规
【机 构】
：
中科院广州能源所太阳能室
【出 处】
：
第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
纤维素是一种可完全降解的天然生物高分子。将水溶性或含亲水基团的的聚合物接枝在纤维素骨架上，就会形成具有高吸水性或水溶性材料，可作为医用材料[1]。这类材料还具有环境响
会议
螺旋结构是一种重要的手性结构。许多天然高分子如蛋白质、DNA 等采取螺旋构象并以此发挥生物功能。通过精密设计并经过合适聚合方法得到的合成高分子也可以具有螺旋结构，在手
会议
聚酰亚胺(PI)具有较好的化学稳定性,优良的机械性能和热稳定性,被广泛应用于航空航天、分离膜、微电子和化工等行业中1 。但是,由于商业化的PI 不熔、不溶,造成其加工困难。
会议
采用蒸馏沉淀聚合法合成了一系列含有不同功能基团的单分散聚合物微球；采用两步聚合法合成了一系列核为高交联、壳为部分交联且含有不同功能基团的单分散核壳型聚合物微球。
目的:研究痛经康口服液的镇痛、抗炎和急性毒性作用.方法:采用醋酸扭体法和热板法观察镇痛作用;采用小鼠耳廓肿胀、毛细血管通透性法观察抗炎作用,采用最大给药量实验研究痛经康口服液对小鼠的急性毒性.结果:痛经康口服液能显著减少小鼠的扭体次数,抑制由二甲苯致小鼠廓肿胀和降低小鼠腹腔毛细血管的通透性,但对热刺激所致小鼠的痛阈值未见明显影响;痛经康口服液在剂量为261 g·kg-1时未发现毒性反应.结论:痛经康口服液较为安全且具有明显的镇痛、抗炎作用.
粗晶材料的超声波探伤一直是无损检测领域的一项难题,本文从超声波探伤的传统方法出发,首先回顾和评价了常用的回波信号分析及处理方法,然后以日益发展的小波理论为工具,寻求
目的:建立测定葛根黄豆苷元自微乳中药物含量的方法.方法:采用紫外分光光度法,在250 nm波长处直接测定葛根黄豆苷元自微乳中药物的含量.结果:葛根黄豆苷元的检测浓度在0.5～7.0
制备性能良好的CuInSe2（简称CIS）薄膜材料对于CIS 太阳电池是至关重要的。一般情况下，CIS 吸收层可用多源共蒸发法、溅射后硒化法以及电沉积等方法制备，为了更好的控制薄膜的生长
会议
本文应用DC（直流）反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2 薄膜，在固定的电源功率下，氩气流量为42.6sccm，氧流量为15sccm，溅射时间为30 分钟的条件下，通过控制靶基距改变TiO2 薄膜的光
会议