【摘 要】
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用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯
【机 构】
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电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054
【出 处】
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电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会
论文部分内容阅读
用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP).在700℃保温1小时的退火条件下,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞,晶粒取向高度一致的薄膜.薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大.
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