【摘 要】
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随着高能量、大功率激光技术的发展，促使激光防护越来越受到国内外研究者的重视，这使得薄膜的激光损伤特性研究极为重要。如何不断提高光学薄膜元件的激光损伤阈值，始终是提高激
【机 构】
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陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安工业大学,西安710032
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随着高能量、大功率激光技术的发展，促使激光防护越来越受到国内外研究者的重视，这使得薄膜的激光损伤特性研究极为重要。如何不断提高光学薄膜元件的激光损伤阈值，始终是提高激光器应用系统性能的关键。本文对MgF2薄膜的场强分布及损伤特性进行了研究：用计算机辅助模拟不同薄膜厚度薄膜的场强分布；采用电子束蒸发法技术制备了激光薄膜，用1064nm的激光器进行激光薄膜的损伤特性分析，观察样品的损伤情况。研究结果表明：场强分布对薄膜抗激光能力具有显著的影响。对于MgF2薄膜，界面处较小的场强分布及选择合适的工艺参数，可以进一步提高光学薄膜的抗激光损伤能力，有助于薄膜激光损伤阈值(LIDT)的提高，从而提高激光系统的抗激光损伤的能力。
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