论文部分内容阅读
光学测量领域存在一个共性问题,由于受衍射极限的限制,聚焦焦斑呈现弥散的爱里斑,影响了光学测量空间分辨能力和定焦能力的提高,其在高空间分辨的共焦显微成像仪器和高精度的激光干涉测量仪器中显得尤为突出。针对于上述问题,本报告将从三个方面介绍我们发明的克服衍射极限的超分辨差动共焦成像/检测原理及其仪器化进展:在激光差动共焦显微成像原理及其仪器化方面,介绍超分辨激光差动共焦显微成像新方法、分光瞳激光差动共焦显微成像新方法以及研制的激光差动共焦显微镜和分光瞳激光差动共焦显微镜;在激光差动共焦元件参数测量原理及其仪器化方面,介绍激光差动共焦层析定焦新原理、基于该层析定焦原理的激光差动共焦曲率半径、折射率、透镜厚度、焦距、透镜间隔等参数的测量新方法、以及基于上述原理方法研制的激光差动共焦干涉测量仪器;在激光差动共焦拉曼光谱测量原理及其仪器化方面,介绍激光差动共焦拉曼光谱测量原理、激光差动共焦布里渊—拉曼光谱测量原理以及该新仪器原理的仪器化进展。