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本论文以纳米二氧化硅为原料，分散在氯化钙熔盐电解质中(纳米二氧化硅在氯化钙中浓度为0.2mol.L-1)；以石墨片为工作电极，石墨棒为参比电极和辅助电极，氩气保护下采用两电极体系，恒电压电沉积法进行硅膜制备.
熔盐中纳米二氧化硅电化学还原沉积制备硅膜
【摘 要】
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本论文以纳米二氧化硅为原料，分散在氯化钙熔盐电解质中(纳米二氧化硅在氯化钙中浓度为0.2mol.L-1)；以石墨片为工作电极，石墨棒为参比电极和辅助电极，氩气保护下采用两电极体系，恒电压电沉积法进行硅膜制备.
【机 构】
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东北大学 冶金学院,沈阳 110819;东北大学 辽宁省冶金传感器及技术重点实验室,沈阳 110819
【出 处】
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2016年全国冶金物理化学学术会议
【发表日期】
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2016年10期
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