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电真空器件具有结构复杂，装配精度高等特点，因此器件的装配过程需要严格的控制和检验。而工具显微镜的成像观察和精确测量功能对电真空器件的工艺过程控制起着重要作用。影像法是工具显微镜的一种典型测量方法，本文介绍了影像法测量的基本原理，并对焦距、光阑直径、定位面垂直度、压线方法、温度和表面缺陷等影响因素进行了测量精度和误差分析。显微镜光学测量方法分析了组件焊接后的几何尺寸和部件的同心度，而后用三坐标接触测量方法验证了组件焊接后部件的同心和对中精度(见图1)。两种方法测量值相差甚小，且均复合理论设计和装配要求，表明了典型部件的良好的装架精度及(Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ各组件)焊接后的对中精度。