干膜刻蚀法制作微流控芯片模具

来源 :2012年全国微纳尺度生物分离分析学术会议、第七届全国微全分析系统学术会议暨第三届国际微流控分析(西湖)学术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:truby
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