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该文阐述了集成电路设计工具Ｌ－ＥＤＩＴ中使用的ＣＩＦ文件基本格式，以及ＣＩＦ文件中常用的命令、描述几何图形的方法、图形层名及比例因子的设置，并介绍了三种利用Ｌ－ＥＤＩＴ绘制圆环及特殊图形的方法。
解析集成电路设计工具中CIF文件格式
【摘 要】
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该文阐述了集成电路设计工具Ｌ－ＥＤＩＴ中使用的ＣＩＦ文件基本格式，以及ＣＩＦ文件中常用的命令、描述几何图形的方法、图形层名及比例因子的设置，并介绍了三种利用Ｌ－ＥＤＩＴ绘制圆环及特殊图形的方法。
【机 构】
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科学院微电子中心
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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