【摘 要】
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用PVD技术在304不锈钢片和单晶硅片上制备出典型的DLC,GLC,CrN三种涂层,利用场发射扫描电子显微镜、激光共聚焦显微仪、共聚焦显微拉曼光谱仪,纳米压痕仪等分析测试技术手段对涂层的微观结构和力学性能进行表征,并且利用Rtec摩擦磨损试验机在大气和水环境中下以梯度加载的形式对各种涂层进行摩擦试验,考察三种涂层的承载能力。结果 显示:相同载荷时,DLC、GLC在大气和水环境中的摩擦系数和磨损率均
【机 构】
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上海大学 材料科学与工程学院,上海 200072;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江宁波 315201
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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用PVD技术在304不锈钢片和单晶硅片上制备出典型的DLC,GLC,CrN三种涂层,利用场发射扫描电子显微镜、激光共聚焦显微仪、共聚焦显微拉曼光谱仪,纳米压痕仪等分析测试技术手段对涂层的微观结构和力学性能进行表征,并且利用Rtec摩擦磨损试验机在大气和水环境中下以梯度加载的形式对各种涂层进行摩擦试验,考察三种涂层的承载能力。结果 显示:相同载荷时,DLC、GLC在大气和水环境中的摩擦系数和磨损率均小于CrN涂层;对于厚度相同的三种涂层,GLC在大气和水环境中,其承载能力比DLC和CrN高;内应力限制了DLC和GLC涂层的厚度,而CrN涂层的厚度随时间的延长而增加,较厚的CrN涂层其承载能力也会大幅度的提高。
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