【摘 要】
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为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法、静
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为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上,实现1×105～4×10-6Pa范围对真空计的校准.静态比对法的校准范围为1×105～5×10-1Pa,合成标准不确定度为1.3％；静态膨胀法的校准范围为5×10-1～5×10-3Pa,合成标准不确定度为1.5％；动态流导法采用两个不同流导小孔衰减压力实现的校准范围为5×10-3～4×10-6Pa,合成标准不确定度为3.7％～4.7％.装置的外形尺寸为长×宽×高=450×400×750mm,总重量小于40公斤,具有体积小、重量轻、成本低、便携等优点.
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