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该文介绍了一种根据仿生学原理设计而成的由电致伸缩微位移器为驱动元件的大范围高精度的微动工作台，该工作台采用电致伸缩微位移器直接驱动的柔性铰链机构，使其既可以在小范围内实现高精度的微动，又可以实现大范围的宏动。文中还对工作台的特性进行了测试实验和分析。
微动工作台的研制及特性研究
【摘 要】
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该文介绍了一种根据仿生学原理设计而成的由电致伸缩微位移器为驱动元件的大范围高精度的微动工作台，该工作台采用电致伸缩微位移器直接驱动的柔性铰链机构，使其既可以在小范围
【机 构】
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滨工业大学
【出 处】
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中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会
【发表日期】
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1997年期
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