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本文针对传统针描法存在的固有缺点,提出了以单模光纤做“触针”的光学针描法粗糙度测量技术.讨论了它的基本原理,“触针”形状尺寸,光纤探头结构设计,实验系统及测量结果.
光纤式光学针描法粗糙度测量技术
【摘 要】
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本文针对传统针描法存在的固有缺点,提出了以单模光纤做“触针”的光学针描法粗糙度测量技术.讨论了它的基本原理,“触针”形状尺寸,光纤探头结构设计,实验系统及测量结果.
【机 构】
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天津大学电子信息学院(天津)
【出 处】
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全国第六届电子测量与仪器学术报告会
【发表日期】
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2000年期
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