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首先简述了通过改变叉指电极的结构,可以激发声表面波的高次谐波,使滤波器工作在高次谐波上,可以降低制作叉指电极的光刻工艺难度.同时提出了一种利用叉指电极的等效电路来计算叉指电极频率响应的方法,此方法可以灵活简便地应用于多种结构的叉指电极的设计过程,并给出了计算机的模拟结果.
谐波法设计SAW射频滤波器的计算机模拟
【摘 要】
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首先简述了通过改变叉指电极的结构,可以激发声表面波的高次谐波,使滤波器工作在高次谐波上,可以降低制作叉指电极的光刻工艺难度.同时提出了一种利用叉指电极的等效电路来计算叉指电极频率响应的方法,此方法可以灵活简便地应用于多种结构的叉指电极的设计过程,并给出了计算机的模拟结果.
【机 构】
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北京理工大学电子工程系(北京)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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