【摘 要】
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制作彩色滤光片可以利用染料对某些光谱的吸收性或者微纳光学结构的干涉、衍射等光学效应。随着纳米制作工艺的快速发展，人们对利用亚波长结构产生各种光谱的研究兴趣越来越浓厚。利用光学结构产生颜色的突出特点是光学效率高、轻薄和可集成化。通过等离子体共振增强反射、衍射和FP腔增强吸收这三种机制相结合，我们在硅基片上设计和制备了亚波长周期双层铝光栅结构，其SEM图见图1(a)，实现了低旁瓣的TM偏振反射单峰，如
【机 构】
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上海交通大学物理与天文系,上海 200240 上海交通大学电院电子工程系,上海 200240
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制作彩色滤光片可以利用染料对某些光谱的吸收性或者微纳光学结构的干涉、衍射等光学效应。随着纳米制作工艺的快速发展，人们对利用亚波长结构产生各种光谱的研究兴趣越来越浓厚。利用光学结构产生颜色的突出特点是光学效率高、轻薄和可集成化。通过等离子体共振增强反射、衍射和FP腔增强吸收这三种机制相结合，我们在硅基片上设计和制备了亚波长周期双层铝光栅结构，其SEM图见图1(a)，实现了低旁瓣的TM偏振反射单峰，如图1(b)所示，反射中心波长随白光入射角度的不同而发生明显改变。
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