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概述了ＬＣ１３强流氧离子注入机真空系统的设计思想过程，并对结果进行了简要分析。
ＬＣ１３强流氧离子注入机真空系统的设计
【摘 要】
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概述了ＬＣ１３强流氧离子注入机真空系统的设计思想过程，并对结果进行了简要分析。
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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