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基于漫反射成像法的激光强度分布测试技术
【机 构】
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激光与物质相互作用国家重点实验室 陕西西安710024
【出 处】
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第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2018年11期
其他文献
激光光谱合束技术是突破单台激光输出极限，获取更高功率激光输出的有效途径。现有的基于光栅的光谱合束方案，对子单元激光的光谱宽度有严格的限制，而3kW以上级别的高能激光受非线性效应的影响，其谱宽均在2 nm以上，无法应用与合束系统中。
随着光纤激光器功率要求的不断提高，高功率光纤光栅的物理参数是限制其发展的主要因素。在光纤光栅的刻写过程中，刻写光源的光能分布变化会对光纤光栅的性能带来极大的影响。因此本文搭建了一种基于夏克哈特曼法的紫外光刻光能分布测试系统，用于实时监测刻写光斑的光束质量，从而提高光纤光栅的刻写性能。
会议
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