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采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌、膜品质的影响.
氮气流量对金刚石膜品质的影响研究
【摘 要】
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采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌、膜品质的影响.
【机 构】
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吉林大学超硬材料国家重点实验室(吉林长春)
【出 处】
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第七届全国新型炭材料学术研讨会
【发表日期】
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2005年11期
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