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研制了一台全反射X射线荧光装置.采用光洁度为λ/20的石英双反射体,X射线经由多次反射后直接进入样品盘,缩短了光程,充分利用了初始光束,因此样品处X射线的强度得到大幅增加.同时采用光洁度为λ/100的石英样品盘,提高了样品激发效率和检测灵敏度.采用Mo靶X光管作为激发源，选用厚度100μm的Zr为滤光片。对25kV和45kV激发电压，10mA激发电流进行了实验，采用国际原子能机构推荐的AXIL软件进行数据处理。分析总结了装置对Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Ga、Y、Sr的检测限和灵敏度。