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本文将介绍一种利用衰减全反射（ATR）技术来实时测量微小位移的方法。用一块镀有较厚金膜的平板玻璃作为样品；将它和一块镀有较薄金膜的棱镜放在一起顶紧。由于两层金膜之间存在一层很薄的空气层，它们构成了一个棱镜耦合金属包覆介质波导系统。用一束聚焦的激光束入射到棱镜耦合金属包覆介质波导上，在反射光斑中将出现衰减全反射峰的吸收暗线。当样品产生位移时，反射光斑中的衰减全反射峰也将移动。通过CCD 摄像机观测反射光斑中的衰减全反射峰的移动，来测量样品的微小位移。