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5. 不同衬底和溅射功率对ZnMgO薄膜性质的影响

不同衬底和溅射功率对ZnMgO薄膜性质的影响

来源 :第13届全国发光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ylalh

【作 者】

：

江秋怡 

【机 构】

：

山东大学,物理学院,山东省,济南市,250100

【出 处】

：

第13届全国发光学学术会议

【发表日期】

：

2013年12期

【关键词】

：

ZnMgO 光学特性 衬底 溅射功率 

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