溶剂热法低温180℃合成α-Si3N4籽晶

来源 :2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dongyu661
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以硫代氨基脲作为低温辅助剂,硅粉为硅源,叠氮化钠为氮源,采用溶剂热法在低温180℃合成α相氮化硅籽晶体.对所制备样品进行X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)测试.XRD测试表明样品仅包含有氮化硅α晶相;傅里叶红外光谱中在918.81cm-1出现一个明显的强峰,与块状晶体Si-N键振动吸收接近;XPS全元素谱线显示样品中成键元素主要有Si、N,其比例近似为3:3.8; SEM形貌中可以看到氮化硅晶体发育良好、其端面为正六边形或正六边锥、其最大直径约为2.0μm左右;样品TEM衍射斑点图可清楚表明棒状氮化晶体结构为单晶体结构.其光致发光(PL)表明在380nm处有很强的紫处发光。
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