一种基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器研究

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提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机。对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg。该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测。
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