热释电薄膜红外探测器的微图形化及其性能

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：laoxu111

【摘要】

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采用传统光刻工艺的化学腐蚀和剥离方法,分别实现了钛酸铅铁电薄膜、铂和金电极的微图形化,成功地制备了单元面积为80μm×80μm的64元热释电薄膜红外探测器阵列,其性能接近

【作者】

：

吴小清李波任巍姚熹

【机构】

：

西安交通大学电子材料研究室(陕西西安)

【出处】

：

第四届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

热释电薄膜红外探测器微图形化钛酸铅铁电薄膜光刻工艺红外探测器阵列近红外成像贵金属电极化学腐蚀单元面积剥离方法实用化金电极应用性能经济

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采用传统光刻工艺的化学腐蚀和剥离方法,分别实现了钛酸铅铁电薄膜、铂和金电极的微图形化,成功地制备了单元面积为80μm×80μm的64元热释电薄膜红外探测器阵列,其性能接近红外成像应用的实用化水平.结果表明:传统的光刻工艺是铁电薄膜和贵金属电极微图形化的一种既经济又有效的工艺.

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