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以工业硅粉为原料,通过直接氮化法制得氮化硅。采用XRD测试方法主要研究了氮化温度、氮化时间和添加剂（α-Si3N4）含量对氮化产物物相组成的影响。试验结果表明:工业硅粉较优的氮化条件为氮化温度1 380℃;氮化时间2h;添加剂含量5%。在较优的氮化条件下,硅粉实现完全氮化,并且氮化产物中α-Si3N4与β-Si3N4质量的比值达到16.98。