氮氩流量比对闭合场非平衡磁控溅射沉积TiN涂层组织结构及力学性能的影响

来源 :第十四届全国金相与显微分析学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaavvv001
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用闭合场非平衡磁控溅射法,在不同氮氩比条件下制备了TiN涂层.利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和划痕仪研究了氮氩流量比对涂层组织和性能的影响.研究结果表明:不同氮氩比条件下,直流溅射TiN涂层表面形貌呈现明显的不同.当氮氩流量比λN2/Ar为35∶20时,涂层中Ti、N原子比接近1∶1;所有TiN涂层中都是Ti2N和TiN共存,但是氮氩流量比对涂层中相晶面择优取向有很大影响;涂层的硬度和结合力随氮氩流量比的增加先上升后下降,且当氮氩流量比λN2/Ar为35∶20时,硬度和结合力达到最大值,分别为5383HV0.01和16.00N.
其他文献
临河式温室的特点是前火道,仰角大,这是温室生产上一项重要革新,它引起温室性能和结构的很大改变。是改善劳动条件,提高产量,降低成本的有效措施。在1977年春全区保护地现场
为了帮助教师们过好暑期生活,下面介绍了一批教育读物的书目和内容摘要。由于编辑部工作人员阅读的范围不广,与各方面的联系不够,因此,这次书目介绍是极不完善的,尤其在有关
长虹系列VCD机有3000,6000,8000,9000等型号,其解码板上的解压芯片为美国斯高柏公司的CL484(3000,8000型视频转换编码用SAA7185),CL680(6000,9000型)。采用索尼和飞利浦机芯
1 走了有多久?不知道,所有的人都希望这条带有逃世意味的路越长越好,也许这种期待连他们自己也不曾发觉。就在这个时候,沙枣树、杨树、树下的灌木和杂草都消失了,空旷平坦的
对传统的继承与弘扬,建立在对传统美学深层理解后的合理创新观念之上.建立在对传统作品上的结构主义创作,从创作构思、曲体结构、配器思路等方面进行科学缜密的解构与多元结
以氟化铵、氧化钇、氧化镱、氧化铒为原料,柠檬酸三钠为表面活性剂,利用水热法合成了六棱柱Na(Y0.57Yb0.39Er0.04)F4.通过X射线粉末衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM
会议
采用OM、SEM等方法对汽车皮带张紧轮断裂原因进行分析.结合有限元计算结果,探明皮带张紧轮断裂主要是因为在服役过程中由于安装等问题,导致有较大非正常应力作用在张紧轮上,
本文简要介绍了等离子弧焊工艺的基本原理及其与TIG焊相比所具有的优点和适用范围,并分别介绍了已开发出的各种等离子弧焊工艺方法及发展现状。 This article briefly intro
浙商,素来精明强干。其中,尤以温州商人为最。“首届浙江商人年度十大风云人物评选”之网络投票2004年1月16日揭晓,4位温州商人入选,个中王振滔以最高票荣登榜首!与许多温州
小王夫妇婚后顺利生下了可爱的小宝宝。就在他们沉浸在初为父母的幸福时,一个严酷的现实使他们不知所措。儿科医生告知,根据新生儿的体貌特征,宝宝可能惠唐氏综合征——一种