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本文采用电子束沉积制备YBCO超导薄膜,研究了不同预处理气氛对YBCO薄膜双轴织构、表面形貌及超导性能的影响。超导临界电流密度测试、X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）的结果表明,预处理气氛为Ar/O2混合气体时,在退火温度为800℃时,YBCO薄膜具有良好的织构和平整致密的表面形貌,在77 K自场下的临界电流密度（Jc）可达4.2×106/cm2。