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ZnO是一种多功能宽带隙金属氧化物半导体材料,因其对环境污染小、具有较高的粒子激活能等特点,被广泛应用于电阻型薄膜气体传感器[1].而构筑出高性能低成本的气敏器件,一直是科研人员所追求的目标[2].
原位构筑氧化锌多孔纳米片传感器及其气敏性能研究
【摘 要】
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ZnO是一种多功能宽带隙金属氧化物半导体材料,因其对环境污染小、具有较高的粒子激活能等特点,被广泛应用于电阻型薄膜气体传感器[1].而构筑出高性能低成本的气敏器件,一直是科研人员所追求的目标[2].
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所,安徽合肥230031
【出 处】
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第十九届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2013年2期
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