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微型喷是微型机电系统的一种重要执行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微供给、芯片冷却以及气流控制等。近几年来，随着航天领域微型化技术的发展，用于微型推进系统的微型喷的研究越来越受到重视。该文所研究了用于微型推进系统的微型喷，该微型喷采用以水为工质的电阻电热工作方式，利用硅微加工工艺制作。
一种微型喷的研究
【摘 要】
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微型喷是微型机电系统的一种重要执行器。它的主要应用方向为喷墨打印头、微供给、芯片冷却以及气流控制等。近几年来，随着航天领域微型化技术的发展，用于微型推进系统的微型喷
【机 构】
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清华大学微米/纳米技术研究中心(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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