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柔性凸点技术是解决当前晶圆级封装柔性适应性的关键技术之一.对比了传统CWLP柔性凸点技术的基础上给出了新型隐埋空气隙柔性凸点......
介绍了一种新型的全差分三轴电容式加速度计的设计和加工工艺,设计的加速度计具有三个共用同一玻璃衬底的惯性质量,分别用于检测三......
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法,对不......
为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机......
近几年来,随着航天领域微型化技术的发展,用于微型推进系统的微推进器的研究越来越受到重视.本文介绍了一种微推进器的设计及相关......
研究了Metropolis Monte Carlo方法在硅微加工各向异性湿法腐蚀仿真中的应用。针对硅微湿法加工所涉及的关键技术和实现方法进行了......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
本文对Post-CMOS体硅微机械陀螺与接口电路单芯片集成技术进行了研究。文章分为五个部分： 第一章阐述了Post-CMOS体硅集成工艺方......
随着硅材料微制造技术的迅速发展,早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪,随后人们又提出了制造微传感器、......
微型机器人应用于临床医学的诊疗,不仅提高了诊断的可靠性、真实性,而且由于微机电系统本身的微小尺寸、高度智能,极大地减少了病......
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Silicon carbide (SiC) is highly wear resistant with good mechanical properties, including high temperature strength, exc......
将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义.本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础.......
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<正> 传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片......
气体润滑轴承是支承高功率密度微涡轮发动机超高速转子的最佳选择。超小宽径比及气膜间隙、超高转子转速及工作温度以及不可避免的......
在对静电激励硅微机械谐谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计，并给出了理论分析和实验结果，测试表明，其有量......
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺......
叙述了当前惯导领域应用最广的力平衡式加速度计、石英振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计发展概况 ,分析了它们的工作原理和结构......
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强......
