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阱垒生长温差对GaN基蓝色多量子阱LED的影响
阱垒生长温差对GaN基蓝色多量子阱LED的影响
来源 :第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyl_chong
【摘 要】
:
本文用MOCVD方法生长InGaN/GaN-MQW基LED结构,通过固定阱温,改变垒湿的方法研究了阱(InGaN)和垒(GaN)甚生长温差对MQW表面形貌和发光波长的影响.
【作 者】
:
曲爽
李树强
夏伟
徐现刚
朱学亮
李毓锋
【机 构】
:
山东大学晶体材料国家重点实验室,济南市山大南路27号,250100 山东华光光电子有限公司,济南市天辰大街1835号,250101
【出 处】
:
第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009)
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
生长
温差
多量子阱
方法研究
表面形貌
光波长
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本文用MOCVD方法生长InGaN/GaN-MQW基LED结构,通过固定阱温,改变垒湿的方法研究了阱(InGaN)和垒(GaN)甚生长温差对MQW表面形貌和发光波长的影响.
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