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本文对一种基于共振隧穿效应的弱光探测器进行研究.设计了具有600 nmInGaAs吸收层和AlAs/InGaAs/AlAs双势垒结构的探测器外延结构,对探测器在1550 nm波段的响应度进行了测试,测试结果表明,当入射光功率为3.1 nW时,探测器在室温下的响应度为1.92×104 A/W.对探测器的光电流进行了测试,测试结果表明,当探测器的工作频率为1KHz时,探测器有良好的光脉冲波形输出.