【摘 要】
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本文研究建立了电子半导体微电机系统(MEMS)加工镀金工艺槽液中无机砷离子的形态分析方法,镀金槽液样品通过BDTA络合稳定,使用离子交换小柱LC-SAX分离其中三价(AsO)和五价(As
【机 构】
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珠海出入境检验检疫局,珠海519015
【出 处】
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第七届全国微量元素研究和进展学术研讨会
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本文研究建立了电子半导体微电机系统(MEMS)加工镀金工艺槽液中无机砷离子的形态分析方法,镀金槽液样品通过BDTA络合稳定,使用离子交换小柱LC-SAX分离其中三价(AsO<,2><->)和五价(AsO<,4><3->)无机砷,然后采用石墨炉原子吸收光谱法分别测定含量。该方法的分离效果和检测限均能满足生产控制的要求,并且具有操作步骤简捷、样品试剂用量少等优点。
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