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利用四极质谱计研究浸渍阴极的热蒸发特性
利用四极质谱计研究浸渍阴极的热蒸发特性
来源 :第六届华东三省一市真空学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:l63cn
【摘 要】
:
热阴极是电真空器件的心脏,广泛的应用在微波管、行波管等器件中。热阴极中活性物质的蒸发特性对于研究热阴极的性能、评价阴极寿命及改进其制作工艺都有着重大的意义。因此研
【作 者】
:
王鹏翔
肖梅
张晓兵
雷威
王保平
【机 构】
:
东南大学电子科学与工程学院 南京 210096
【出 处】
:
第六届华东三省一市真空学术交流会
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
四极质谱计
浸渍
热阴极
蒸发特性
电真空器件
制作工艺
阴极寿命
活性物质
行波管
微波管
必要性
心脏
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热阴极是电真空器件的心脏,广泛的应用在微波管、行波管等器件中。热阴极中活性物质的蒸发特性对于研究热阴极的性能、评价阴极寿命及改进其制作工艺都有着重大的意义。因此研究阴极的蒸发特性很有必要性。本文利用四极质谱计(QMS)研究浸渍阴极的热蒸发特性。
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